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1、MEMS气体流量传感器快速批量标定系统

由于MEMS热式气体流量传感器简单的结构和实施，其已得到广泛应用。但传感器制造过程中的加工、封装等工艺的一致性问题，导致传感器之间的性能存在差异问题。为此中心开发了一套自动化快速批量标定系统，实现了一批次可完成多个传感器的标定，解决了人工操作，生产效率低下，自动化程度低的问题。实现自动完成流量计安装，泄漏、标定、筛选不良品等试验项目。检测数据都存入数据库管理系统，便于分析传感器产品存在的设计、加工、质量问题与标定系统内部问题，便于对产品优化与系统维护、改进。

根据MEMS加速度传感器的特性，中心实现了对加速度传感器不同测试方法下（重力法、离心法、振动、冲击）的灵敏度、零点输出、满量程输出、线性度、满量程输出漂移、热零点偏移、热满量程输出偏移、灵敏度的温漂、灵敏度的温漂系数、交叉轴灵敏度等项目的检测。实现针对各类MEMS加速度传感器进行全性能检测和不同测量范围传感器静态和动态参数的测试。该系统能提供重力场翻滚（多轴转台或分度头）、离心加速度试验、振动试验、高g值冲击测试,实现了不同加速度激励条件下温度控制，具有数据自动采集处理分析等多种功能。

采用HART总线方式通讯，实现多设备集成化批量修正与测试。具有传感器测试、数据写入、线性补偿修正等功能的自动化装置。由于HART通讯是半双工方式通讯，在实现批量化生产过程中，采用多块HART板进行通讯，提高了生产效率。该系统还提高了压力传感器的产量及测量的准确性和压力传感器生产企业的量产和效率，减少了人为操作仪器仪表所产生的各种误差，实现了压力仪表批量化校验及修正，满足了各种压力传感器生产企业的校准和修正需求。